觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器是一種基于光散射技術(shù)的精密儀器，廣泛應用于潔凈度檢測和空氣質(zhì)量控制領域。

　　一、觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器科學原理

　　1. 核心工作機制——Mie散射理論

　　當激光束照射到空氣中懸浮的顆粒物時，會發(fā)生光散射現(xiàn)象（遵循Mie理論）。不同粒徑的粒子會產(chǎn)生特定強度的光信號：

　　小顆粒（<1μm）：以瑞利散射為主，散射光強隨粒徑增大而增強；

　　大顆粒（>1μm）：符合幾何光學規(guī)律，散射光強趨于穩(wěn)定。

　　通過測量散射光的強度分布，可反推出粒子的大小和數(shù)量濃度。

　　2.校準與補償算法

　　內(nèi)置ISO 21501-4標準參考物質(zhì)進行定期自校準，修正溫度漂移導致的誤差；

　　應用Shephard修正因子消除重疊通道間的干擾，提升多分散體系的測量精度。

　　二、觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器實際應用場景

　　1.半導體制造行業(yè)

　　工藝環(huán)境監(jiān)控：在晶圓清洗、光刻等工序段持續(xù)監(jiān)測Class 1~10級無塵室中的≥0.1μm微粒污染水平；

　　設備性能驗證：評估FFU風機過濾單元的效率衰減情況，指導濾芯更換周期優(yōu)化；

　　故障診斷支持：突發(fā)性粒子超標報警可定位到具體工具機的異常振動源或材料破損點。

　　2.生物醫(yī)藥領域

　　GMP車間動態(tài)分級測試：對無菌灌裝線的層流罩進行在線監(jiān)測，確保符合EU GMP Annex 1要求；

　　滅菌效果驗證：比較輻照前后空氣中微生物載體粒子的變化量，間接反映Cobalt-60滅菌穿透性；

　　隔離系統(tǒng)完整性檢查：通過挑戰(zhàn)測試檢測手套端口等關(guān)鍵部位的泄漏風險。

　　3.材料科學研究

　　納米粉體表征：分析氣相合成法制備的碳納米管團聚狀態(tài)及其空氣動力學直徑分布；

　　噴霧干燥優(yōu)化：實時反饋霧化過程中液滴固化形成的微球粒度均一性指標PDI值；

　　過濾器研發(fā)測試：評價新型靜電紡納米纖維膜對超細顆粒物的截留譜圖特征。

　　4.工業(yè)過程控制

　　IAQ管理：辦公大樓通風系統(tǒng)的PM2.5/PM10濃度梯度測繪，指導新風量調(diào)節(jié)策略制定；

　　印刷車間防爆預警：監(jiān)控調(diào)墨區(qū)可燃性粉塵云的形成閾值，聯(lián)動聯(lián)鎖裝置切斷點火源；

　　食品包裝線衛(wèi)生審計：量化生產(chǎn)線上方沉降菌攜帶的惰性顆粒污染物基數(shù)。